昭和真空镀膜机检漏 真空镀膜机 深受新老客信赖

昆山熙日机械设备有限公司

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出。先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
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Ion Beam Drive ： ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC（ 直流系列 ） ：
MDX Series: MDX 5,MDX 10,MDX 20,MDX 30,MDX-052,MDX 1K,MDX 1.5K,MDX 500,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw（15-120KW）
Advanced Energy MDX MAGNETRON DRIVE SLAVE
ADVANCED ENERGY PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
ADVANCED ENERGY PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
ADVANCED ENERGY MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kWHALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
ADVANCED ENERGY MDX-10K-MASTER 2225-037-A
ADVANCED ENERGY MDX13
ADVANCED ENERGY MDX-MASTER 2225-000
ADVANCED ENERGY MDX SLAVE 2221-005-N
ADVANCED ENERGY 3152225-048A
ADVANCED ENERGY 2221-005-P
ADVANCED ENERGY 2225-009-W
ADVANCED ENERGY 2221-012-A
ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

台湾龙翩真空镀膜机型号：LP-BSA/BS真空蒸著机LP-BSD立式双门真空蒸著机LP-BSPD立式双门蒸溅镀两用真空蒸著机LP-HS卧式真空蒸著机LP-EBA自动化光学真空蒸著机LP-BSDP炉内面涂机 HMDSLP-HEA卧式真空蒸著机LP-AF真空蒸著机LP-BS小型实验用真空蒸著机水平连续式溅射机 5 Series

普发(PFEIFFER)分子泵系列：TMH063、TMH064、TMH071，TMH260，TMH261，TMH300，TMH301，TPH170
莱宝分子泵系列：TW70，TW250S，Turbovac 360,Turbovac 361.
ALCATEL ADIXEN分子泵系列ATP150 、 ATP100 、 ATP80 、 ATP400 、 ATP900
Ion Beam Drive : ID-3500,ID-3501,IT-2500,IT-3500 DC(直流系列) :
MDX Series: MDX500，MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW ,MDX 1K,MDX 1.5K ,MDX Delta MDX II Series: MDX II 15kw，MDX II 18P
PINNACLE Series: Pinnacle 6KW,Pinnacle 12KW,Pinnacle 10KW,Pinnacle 20KW,Pinnacle 8KW,Pinnacle 15KW
PINNACLE 3000 PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW,Pinnacle Plus+ Dual output 5KW,Pinnacle Plus+ 10KW
DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW,Pinnacle Diamond 10KW,Pinnacle Diamond 15KW
MDX-L Series: MDX-L6,MDX-L 6kW HALO,MDX-L12,MDX-L 12M,MDX-L 12M 650,MDX-L18
SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VSE'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR